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中国碳化硅产业链全景图碳化硅材料是制作高频、温抗辐射及大功率器件的优异材料。和Si、GaAs等第一、二代半导体材料相比，碳化硅（SiC）和氮化镓（GaN）拥有击穿电压高、宽禁带、导热率高、电子饱和速率高、 碳化硅，是一种无机物，化学式为SiC，是用 石英砂 、石油焦（或煤焦）、木屑（生产绿色碳化硅时需要加食盐）等原料通过 电阻炉 高温冶炼而成。 碳化硅在大自然也存在罕见的矿物， 莫桑石 。 在C、N、B等非氧化物高 碳化硅_百度百科
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碳化硅芯片这样制造. 新材料，“芯”未来！. 碳化硅芯片，取代传统硅基芯片，可以有效提高工作效率、 降低能量损耗，减少碳排放，提高系统可靠性，缩减体积、节约空间。. 以电动汽车为例，采用碳化硅芯片，将使电驱 以碳化硅MOSFET工艺为例，整线关键工艺设备共22种。 1.碳化硅晶体生长及加工关键设备 主要包括: 碳化硅粉料合成设备 用于制备生长碳化硅单晶所需的碳化硅粉料,高质量的碳化硅粉料在后续的碳化硅生 首片国产 6 英寸碳化硅晶圆发布，有哪些工艺设备
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从历史上看，制造商在高温环境下使用碳化硅来制造轴承、加热机械部件、汽车制动器，甚至磨刀工具等设备。 在电子和半导体应用中，SiC的优势主要有： 120-270 W/mK 高导热 碳化硅器件制造的工艺流程. 碳化硅器件制造环节与硅基器件的制造工艺流程大体类似，主要包括光刻、清洗、掺杂、蚀刻、成膜、减薄等工艺。. 不少功率器件制 SiC碳化硅器件制造那些事儿-电子工程专辑
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